该厂为85英寸晶圆研发线配套方案的超纯净水平台，每星期制造含硅废水外工院艺150吨。废水外工院艺中虽无高价属，但硅成分高易结渣，且功率电阻率需符合18MΩ·cm就能造纸废水外理。增加了外工院艺不可充分满足新实行的《电子器材化工业水影响物产生规则》（GB39731-2020）特点产生标准值。 废水处理方法含量基本特征 重要造成的污染 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（孔径0.1-1μm） 特种的标准 ：TOC<10μg/L，硼含氧量<5μg/L 水环境性能指标 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机物结构麻烦 治理 技艺步奏 科技创新选用"梯级膜提取+电去阴离子"结构工艺流程： 微滤预操作 ：1μm工业陶瓷膜手机拦截大粒状硅，通量能维持80LMH 阳离子交流硅橡胶 ：D201大孔硅橡胶条件性吸硅酸原子 五级RO系统的 ：第一点段回收处理率60%，最后段选用高脱硼膜零件 EDI电去正离子 ：电流大小体积2A/m²，持续不断清理多余阴阳离子 太阳光的紫外线消毒 ：254nm紫外光线摄入量40mJ/cm² 技艺突出 研发专用工具阻硅剂（生产胺类分手后复合物），推迟膜造成的污染周期公式3倍 EDI组件革新流道设计，硅彻底清除率提拔至99.8% 网上硅分折仪（检测的区域0.1-500μg/L）体现靶向掌控 执行认真总结 经第3方检查： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L减至0.3μg/L 系统性收集率从原40%的提升至68% 膜更改周期长延迟至5年，年程序运行费用降低35%